设备规格

• 晶圆尺寸：8 寸及以下兼容
• 兼容带蓝膜框晶圆清洗
• 蓝膜保护罩
• 三路清洗系统
• 氮气吹干和DI水冲洗系统
• 清洗管路带有加热
• 室温-70℃温控
• 最高升温速率2℃/min
• 配置流量调节系统