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全自动热滑移晶圆解键合系统
WDB-Mars200
产品特点
新型解键合方式可使减薄厚度更加极限(3寸InP 45μm,4寸Si 30μm)
采用软质上料方式、独特的上料以及解键合吸盘设计,可实现负压、正压、无压等多模式解键合;防止溢胶与背部金属划伤
大压力晶圆永久键合机
Heracles-series
低温放电键合
Thor-series
半自动晶圆键合系统
WBR1S080
全自动晶圆临时键合系统
WBR-Mars200
全自动晶圆临时键合系统
WBR-Apollo300
半自动热滑移晶圆解键合系统
WDB1S080
半自动晶圆清洗机
WCN1S080X
全自动热滑移晶圆解键合系统
WDB-Mars200
全自动激光解键合
WDB-Apollo300
磨针机
Pin Sander of Probe Cards
调针机
Pin Tuner of Probe Cards
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